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    SiC晶圓
    激光退火 | LA
    SiC晶圓激光退火 | LA
    應用領域
    SiC晶圓歐姆接觸制備
    產品特點
    • 國內首家通過量產驗證

    • 成熟穩定、可靠性好

    • 全自主光學系統,LIET專利光學整形技術

    • 綠光、紫外兩種波長可選

    型號LA2515UVLA2540/2550S
    晶圓尺寸6寸、8寸
    光斑尺寸X:100~500μmY:100~500μm
    最大激光能量密度Green:10J/cm2UV:6J/cm2
    比電阻接觸率~10-5Ω·cm2
    氧含量控制≤10ppm
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