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    淺結/超淺結
    晶圓退火 | LA
    淺結/超淺結晶圓退火 | LA
    應用領域
    BSI-CCD晶圓低能注入離子激活
    產品特點
    • 國內首創,8寸量產設備

    • 精確能量密度控制

    • 紫外波段激光、穿透深度小

    • 大長寬比線形平頂光斑

    • 低擴散深度的超淺結深控制工藝技術

    型號LA2518UV
    晶圓尺寸6寸、8寸
    結深≤50nm
    雜質峰值擴散深度≤5nm
    RS不均勻性<2%(片內/片間)
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