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    玻璃基板
    激光誘導鉆孔機 | LDR
    玻璃基板激光誘導鉆孔機 | LDR
    應用領域
    主要應用于異形構造玻璃;射頻組件/光電元件/光掩模版/MEMS/玻璃基高密度基板;晶圓先進封裝-玻璃間隔晶片;Mini/Micro LED顯示面板玻璃襯底;折疊屏等進行激光誘導鉆通孔、盲孔
    產品特點
    • 定制皮秒/飛秒激光器,出光穩定

    • 激光飛行脈沖打點,同時兼容單點/旋切鉆孔工藝,效率高

    • 集成優異的軟件算法,自動優化激光打點及切割的路徑及方向

    • 可兼容產品漏點視覺檢測功能,提供產品漏點數據對接接口及預留檢測工位,實行補點功能無縫對接

    技術指標
    激光器超快皮秒/飛秒激光
    加工產品尺寸X/Y: 350×350mm 12寸玻璃晶圓
    加工玻璃厚度100-1500μm
    聚焦光斑直徑<3μm
    UPH≥5000孔/秒
    平臺定位精度≤±2μm
    重復定位精度≤±1μm
    視覺配置1000萬像素
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